日本filmetrics自动膜厚测量系统F50
主要特点
结合基于光学干涉原理的膜厚测量功能和自动高速载物台的系统
以过去无法想象的速度测量点的膜厚和折射率
兼容2英寸至450毫米的硅基板，可任何测量点

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